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四探針方阻電阻率測試儀

發(fā)布時間: 2020-07-28  點擊次數(shù): 383次

四探針方阻電阻率測試儀型號:

 

一. 描述Description:
采用范德堡測量原理能解決樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數(shù)據(jù)處理及數(shù)據(jù)分析.中文或英文語言版本.
二.參照標(biāo)準(zhǔn)standard:
硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.
三.范圍Applicable scope:
于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗和分析半導(dǎo)體材料質(zhì)量的工具;液晶顯示,自動測量和系數(shù)補償,并帶有溫度補償功能,自動轉(zhuǎn)換量程;采用AD芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數(shù)據(jù),生成報表
用于:覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測試等相關(guān)產(chǎn)品

四.型號及參數(shù)Models and technical parameters

規(guī)格型modelFT-331
1.方塊電阻范圍Sheet resistance 10-5~2×105Ω/□
2.電阻率范圍Resistivity 10-6~2×106Ω-cm
測試電流范圍
Test current 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA
4.電流精度 Current accura±0.1% 

5.電阻精度Resistance ≤0.3%
6.顯示讀數(shù)display液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率LCD: resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity 7.測試方式test mode普通單電測量general single electrical measurement
8.工作電源power輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W 
9.誤差errors≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果 Standard Sample results)
10.選購功能choose to buy選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標(biāo)準(zhǔn)電阻
1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test Platform.
11.測試探頭Test probe探針間距選購:1mm;2mm;3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.
Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.

 

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